Информация об авторе
Анохин, А. Л.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 53, № 4 (2024) | ТЕХНОЛОГИИ | Плазмохимическое и реактивно-ионное травление арсенида галлия в среде дифтордихлорметана с гелием |
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 53, № 4 (2024) | ТЕХНОЛОГИИ | Плазмохимическое и реактивно-ионное травление арсенида галлия в среде дифтордихлорметана с гелием |