Информация об авторе
Бобылев, А. В.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 52, № 4 (2023) | ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ | Концентрация атомов фтора и кинетика реактивно-ионного травления кремния в смесях CF4 + O2, CHF3 + O2 и C4F8 + O2 |
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 52, № 4 (2023) | ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ | Концентрация атомов фтора и кинетика реактивно-ионного травления кремния в смесях CF4 + O2, CHF3 + O2 и C4F8 + O2 |