Информация об авторе
Исубгаджиев, Ш. М.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 54, № 1 (2025) | ТЕХНОЛОГИИ | Разработка и испытание технологической платформы атомно-слоевого осаждения для синтеза материалов микро- и наноэлектроники |
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 54, № 1 (2025) | ТЕХНОЛОГИИ | Разработка и испытание технологической платформы атомно-слоевого осаждения для синтеза материалов микро- и наноэлектроники |