Информация об авторе
Иванин, П. С.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| № 2 (2025) | Статьи | Многофункциональная пластина-шаттл для обработки полупроводниковых пластин малого диаметра и ультратонких пластин |
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| № 2 (2025) | Статьи | Многофункциональная пластина-шаттл для обработки полупроводниковых пластин малого диаметра и ультратонких пластин |