Информация об авторе
Лапега, А. В.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| № 2 (2025) | Статьи | Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60° |
Способы оплаты
Пользователь
Уведомления
Подписка
Войти в систему, чтобы проверить подписку
Ключевые слова
атомно-силовая микроскопия
ионная имплантация
компьютерное моделирование
кремний
магнетронное распыление
метод Монте-Карло
микроструктура
морфология поверхности
наночастицы
облучение
оксид цинка
поверхность
растровая электронная микроскопия
рентгеновская дифракция
рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
рентгеноструктурный анализ
рентгенофазовый анализ
синхротронное излучение
структура
тонкие пленки
фазовый состав
Информация
×
Способы оплаты
Пользователь
Уведомления
Подписка
Войти в систему, чтобы проверить подписку
Ключевые слова
атомно-силовая микроскопия
ионная имплантация
компьютерное моделирование
кремний
магнетронное распыление
метод Монте-Карло
микроструктура
морфология поверхности
наночастицы
облучение
оксид цинка
поверхность
растровая электронная микроскопия
рентгеновская дифракция
рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
рентгеноструктурный анализ
рентгенофазовый анализ
синхротронное излучение
структура
тонкие пленки
фазовый состав
Информация