Информация об авторе
Полушкин, Е. А.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 52, № 3 (2023) | ТЕХНОЛОГИИ | Плазма водорода в условиях электрон-циклотронного резонанса в технологии микроэлектроники |
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 52, № 3 (2023) | ТЕХНОЛОГИИ | Плазма водорода в условиях электрон-циклотронного резонанса в технологии микроэлектроники |