Информация об авторе
Kwon, K. -H.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 53, № 6 (2024) | ТЕХНОЛОГИИ | Параметры плазмы и кинетика травления Si/SiO2 в смесях фторуглеродных газов с аргоном и гелием |
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 53, № 6 (2024) | ТЕХНОЛОГИИ | Параметры плазмы и кинетика травления Si/SiO2 в смесях фторуглеродных газов с аргоном и гелием |