Surface Morphology and Photoluminescence Spectra of Pseudomorphic {InGaAs/GaAs}  Superlattices on GaAs (100), (110), and (111)A Substrates

E. A. Klimov; Климов Е. А.; S. S. Pushkarev; Пушкарёв С. С.; A. N. Klochkov; Клочков А. Н.; M. O. Mozhaeva; Можаева М. О.

doi:10.31857/S054412692370031X

Surface Morphology and Photoluminescence Spectra of Pseudomorphic {InGaAs/GaAs} Superlattices on GaAs (100), (110), and (111)A Substrates

Авторлар: Klimov E.A.¹^,2, Pushkarev S.S.¹, Klochkov A.N.³, Mozhaeva M.O.²
Мекемелер:
1. Mokerov Institute of Ultra High Frequency Semiconductor Electronics, Russian Academy of Sciences
2. State Scientific Center of the Russian Federation Joint Stock Company NPO “Orion,”
3. National Research Nuclear University “MEPhI,”
Шығарылым: Том 52, № 3 (2023)
Беттер: 167-173
Бөлім: ДИАГНОСТИКА
URL: https://gynecology.orscience.ru/0544-1269/article/view/655276
DOI: https://doi.org/10.31857/S054412692370031X
EDN: https://elibrary.ru/UDRWAA
ID: 655276

Дәйексөз келтіру

Толық мәтін

Ашық рұқсат
Рұқсат жабық

Рұқсат берілді
Рұқсат жабық

Тек жазылушылар үшін

Аннотация
Авторлар туралы
Әдебиет тізімі
Қосымша файлдар
Статистика

Аннотация

The production of superlattices with pseudomorphically strained quantum wells (QWs) {InxGa1–xAs/GaAs} grown by molecular beam epitaxy on GaAs substrates with (100), (110), and (111)A crys-tallographic surface orientations is reported. The quality of the crystal structure of epitaxial samples is assessed using the atomic force microscopy of their surface. The manifestation of a piezoelectric field in the photoluminescence spectra is reported.

Негізгі сөздер

atomic force microscopy, striated relief, molecular beam epitaxy, GaAs, InGaAs, (110), (111)A, pseudomorphic quantum well, piezoelectric effect, photoluminescence spectroscopy

Авторлар туралы

E. Klimov

Mokerov Institute of Ultra High Frequency Semiconductor Electronics, Russian Academy of Sciences; State Scientific Center of the Russian Federation Joint Stock Company NPO “Orion,”

Email: s_s_e_r_p@mail.ru
Moscow, 117105 Russia; Moscow, 111538, Russia

S. Pushkarev

Mokerov Institute of Ultra High Frequency Semiconductor Electronics, Russian Academy of Sciences

Email: s_s_e_r_p@mail.ru
Moscow, 117105 Russia

A. Klochkov

National Research Nuclear University “MEPhI,”

Email: s_s_e_r_p@mail.ru
Moscow, 115409 Russia

M. Mozhaeva

State Scientific Center of the Russian Federation Joint Stock Company NPO “Orion,”

Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: s_s_e_r_p@mail.ru
Moscow, 111538, Russia

Әдебиет тізімі

Ilg M., Ploog K.H., Trampert A. Lateral piezoelectric fields in strained semiconductor heterostructures // Physical Review B. 1994. V. 50. I. 23. P. 17111. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.50.17111
Smith D.L., Mailhiot C. Theory of semiconductor superlattice electronic structure // Reviews of Modern Physics. 1990. V. 62. № 1. P. 173–234. https://doi.org/10.1103/RevModPhys.62.173
Takeuchi H., Yanagisawa J., Hasegawa T., Nakayama M. Enhancement of terahertz electromagnetic wave emission from an undoped GaAs/n-type GaAs epitaxial layer structure // Appl. Phys. Lett. 2008. V. 93. P. 081916. https://doi.org/10.1063/1.2976436
Галиев Г.Б., Пушкарёв С.С., Буряков А.М., Билык В.Р., Мишина Е.Д., Климов Е.А., Васильевский И.С., Мальцев П.П. Генерация и детектирование терагерцевого излучения в низкотемпературных эпитаксиальных пленках GaAs на подложках GaAs с ориентациями (100) и (111)A // Физика и техника полупроводников. 2017. Т. 51. Вып. 4. С. 529–534. https://doi.org/10.21883/FTP.2017.04.44347.8408
Буряков А.М., Билык В.Р., Мишина Е.Д., Галиев Г.Б., Климов Е.А., Мальцев П.П., Пушкарёв С.С. Генерация терагерцового излучения низкотемпературными мультислойными эпитаксиальными пленками i-LT-GaAs/n-GaAs на подложках GaAs с ориентациями (100) и (111)А // Нано- и микросистемная техника. 2017. Т. 19. № 2. С. 77–84. https://doi.org/10.17587/nmst.19.77-84
Галиев Г.Б., Грехов М.М., Китаева Г.Х., Климов Е.А., Клочков А.Н., Коленцова О.С., Корниенко В.В., Кузнецов К.А., Мальцев П.П., Пушкарев С.С. Генерация терагерцевого излучения в низкотемпературных эпитаксиальных пленках InGaAs на подложках InP с ориентациями (100) и (411)A // Физика и техника полупроводников. 2017. Т. 51. Вып. 3. С. 322–330. https://doi.org/10.21883/FTP.2017.03.44201.8312
Vaccaro P.O., Takahashi M., Fujita K., Watanabe T. Growth by molecular beam epitaxy and photoluminescence of InGaAs/GaAs quantum wells on GaAs (111)A substrates // Journal of Applied Physics. 1994. V. 76. P. 8037–8041. https://doi.org/10.1063/1.357923
Khoo E.A., David J.P.R., Woodhead J., Grey R., Rees G. Photoluminescence linewidths of piezoelectric quantum wells // Applied Physics Letters. 1999. V. 75. P. 1929–1931. https://doi.org/10.1063/1.124874
Chin A., Lee K. High quality Al(Ga)As/GaAs/Al(Ga)As quantum wells grown on (111)A GaAs substrates // Applied Physics Letters. 1996. V. 68. P. 3437–3439. https://doi.org/10.1063/1.115785
Галиев Г.Б., Васильевский И.С., Климов Е.А., Мокеров В.Г., Черечукин А.А. Влияние температуры роста спейсерного слоя на подвижность двумерного электронного газа в PHEMT-структурах // ФТП. 2006. Вып. 12. С. 1479–1483.
Romanato F., Napolitani E., Carnera A., Drigo A.V., Lazzarini L., Salviati G., Ferrari C., Bosacchi A., Franchi S. Strain relaxation in graded composition InxGa1–xAs/GaAs buffer layers // J. Appl. Phys. 1999. V. 86. P. 4748–4755. https://doi.org/10.1063/1.371439
Choi H., Jeong Y., Cho J., Jeon M.H. Effectiveness of non-linear graded buffers for In(Ga,Al)As metamorphic layers grown on GaAs (001) // J. Cryst. Growth. 2009. V. 311. P. 1091–1095. https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2008.10.116