ЛИТОГРАФИЯ
| Выпуск | Название | Файл | |
| Том 54, № 4 (2025) | Перспективы развития электроннолучевой ионнолучевой литографии в России |
 (Rus) |
|
| Зайцев С.И., Иржак Д.В., Ильин А.И., Князев М.A., Рощупкин Д.В., Грачев В.П., Курбатов В.Г., Малков Г.В. | |||
| Том 54, № 1 (2025) | Исследование метода двойной литографии с использованием антиспейсера |
(Rus) |
|
| Тихонова Е.Д., Горнев Е.С. | |||
| Том 53, № 5 (2024) | Новая концепция развития высокопроизводительной рентгеновской литографии |
(Rus) |
|
| Чхало Н.И. | |||
| Том 52, № 5 (2023) | Защитные свободновисящие пленки для установок проекционной литографии экстремального ультрафиолетового диапазона |
(Rus) |
|
| Зуев С.Ю., Лопатин А.Я., Лучин В.И., Салащенко Н.Н., Цыбин Н.Н., Чхало Н.И. | |||
| Том 52, № 2 (2023) | Сечения процессов рассеяния при электронно-лучевой литографии |
(Rus) |
|
| Рогожин А.Е., Сидоров Ф.А. | |||
| 1 - 5 из 5 результатов | |||