ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
| Выпуск | Название | Файл | |
| Том 52, № 5 (2023) | О влиянии малых добавок F2, H2 и HF на концентрации активных частиц в плазме тетрафторметана |
 (Rus) |
|
| Ефремов А.М., Смирнов С.А., Бетелин В.Б. | |||
| Том 52, № 4 (2023) | Концентрация атомов фтора и кинетика реактивно-ионного травления кремния в смесях CF4 + O2, CHF3 + O2 и C4F8 + O2 |
(Rus) |
|
| Ефремов А.М., Бобылев А.В., Kwon K. | |||
| 1 - 2 из 2 результатов | |||